Оптик дизайн нь хагас дамжуулагч талбарт өргөн хүрээний програмтай байдаг. Фототритографийн машинд оптик систем нь гэрлийн эх үүсвэрийг асаах, цахиурын хэв маягийг ил гаргахад чиглэсэн гэрлийн цацрагийг төвлөрүүлэх үүрэгтэй. Тиймээс гэрэл зургийн систем дэх оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг зурагт үзэлт, онлайнаар сайжруулах нь пололитографийн ажиллагааг сайжруулах нь чухал арга юм. Дараахь нь фотолитографийн машинд ашигласан оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн зарим нь:
Төсөөлөх зорилго
01 Төсөөлөх зорилго нь ихэвчлэн Литографийн машины үндсэн бүрэлдэхүүн бөгөөд ихэвчлэн линзний линз, линз, линз, призмийн гол бүрэлдэхүүн хэсэг юм.
02 Түүний функц нь маск дээрх хаалтын хэв маягийг маск дээр багасгах бөгөөд үүнийг зурагчинтай хамт бүрсэн дээр анхаарлаа төвлөрүүл.
03 Төсөөлөх бодит байдал, гүйцэтгэл нь Литографийн машины нарийвчлал, сэтгэгдэл, төсөөллийн чанарыг шийдвэрлэхэд нөлөөлдөг
Толө
01 ТолийнГэрлийн чиглэлийг өөрчлөхөд ашигладаг бөгөөд үүнийг зөв байршил руу чиглүүлэхэд ашигладаг.
EUV LITHORE машинд 02 e-up, толин тусгал нь материалыг материалаар амархан шингээж өгдөг тул маш өндөр туйлын тусгалтай байдаг тул өндөр тусгалтай тусгалууд ашиглагдах ёстой.
03 нь гадаргуугийн нарийвчлал, тогтвортой байдал нь Литографийн машины гүйцэтгэлд маш их нөлөө үзүүлдэг.
Шүүгч
01 Шүүлтүүрийг гэрлийн долгионы уртыг арилгахад ашигладаг бөгөөд гэрэл зургийн процессын нарийвчлал, чанарыг сайжруулахад ашигладаг.
02 Тохирох шүүлтүүрийг сонгох замаар зөвхөн тодорхой долгионы машиныг зөвхөн литографийн машинд оруулсан бөгөөд энэ нь Литографийн процессын нарийвчлал, тогтвортой байдлыг сайжруулж болно.
Призм болон бусад бүрэлдэхүүн хэсгүүд
Үүнээс гадна, литографийн машин нь Pristogizes, Parmogizy-ийн бусад туслах оптик бүрэлдэхүүн хэсгийг ашиглаж болно. Эдгээр оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг сонгох, дизайн, боловсруулах, үйлдвэрлэл, литографийн машины өндөр нарийвчлалтай, үр ашиг, шаардлагыг хатуу дагаж мөрдөх ёстой.
Хураангуй дахь, Литографийн машинуудын оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь литографийн үйлдвэрүүдийн хэрэглээ нь литографийн машин, үйлдвэрлэлийн үр ашигийг дээшлүүлэх зорилготой. Литографийн технологийн технологийн тасралтгүй хөгжиж, оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн оновчлол, инновацийн шинэчлэл нь дараагийн үеийн чипс үйлдвэрлэхэд илүү их боломж олгоно.
Илүү их ойлголт, шинжээчийн зөвлөгөөг авахын тулд манай вэбсайтад зочлооройhttps://www.jijonoptics.com/Манай бүтээгдэхүүн, шийдлийн талаар илүү ихийг мэдэх.
Шуудангийн цаг: 1-р сарын 02-2025
