Оптик дизайн нь хагас дамжуулагч талбарт өргөн хүрээний хэрэглээтэй. Фотолитографийн машинд оптик систем нь гэрлийн эх үүсвэрээс ялгарах гэрлийн туяаг төвлөрүүлж, түүнийг цахиур хавтан дээр буулгаж хэлхээний хэв маягийг ил гаргах үүрэгтэй. Тиймээс фотолитографийн систем дэх оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн дизайн, оновчлол нь фотолитографийн машины гүйцэтгэлийг сайжруулах чухал арга зам юм. Фотолитографийн машинд ашигладаг оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн зарим нь:
Төсөөллийн зорилго
01 Проекцийн зорилго нь литографийн машины гол оптик бүрэлдэхүүн хэсэг бөгөөд ихэвчлэн гүдгэр линз, хотгор линз, призм зэрэг хэд хэдэн линзээс бүрддэг.
02 Үүний үүрэг нь маск дээрх хэлхээний загварыг багасгаж, фоторезистээр бүрсэн вафель дээр төвлөрүүлэх явдал юм.
03 Төслийн зорилтын нарийвчлал, гүйцэтгэл нь литографийн машины нарийвчлал, дүрслэлийн чанарт шийдвэрлэх нөлөө үзүүлдэг.
Толин тусгал
01 Толин тусгалуудгэрлийн чиглэлийг өөрчлөх, зөв байршилд чиглүүлэхэд ашигладаг.
02 EUV литографийн машинд толь нь онцгой чухал бөгөөд учир нь EUV гэрэл материалд амархан шингэдэг тул өндөр тусгалтай толь ашиглах шаардлагатай.
03 Цацруулагчийн гадаргуугийн нарийвчлал, тогтвортой байдал нь литографийн машины гүйцэтгэлд ихээхэн нөлөөлдөг.
Шүүлтүүр
01 шүүлтүүрийг гэрлийн хүсээгүй долгионы уртыг арилгахад ашигладаг бөгөөд энэ нь фотолитографийн үйл явцын нарийвчлал, чанарыг сайжруулдаг.
02 Тохиромжтой шүүлтүүрийг сонгосноор литографийн машинд зөвхөн тодорхой долгионы урттай гэрэл орж, улмаар литографийн үйл явцын нарийвчлал, тогтвортой байдлыг сайжруулж болно.
Призм ба бусад бүрэлдэхүүн хэсгүүд
Нэмж дурдахад литографийн машин нь литографийн тусгай шаардлагыг хангахын тулд призм, туйлшруулагч гэх мэт бусад туслах оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг ашиглаж болно. Эдгээр оптик эд ангиудыг сонгох, дизайн хийх, үйлдвэрлэхдээ литографийн машины өндөр нарийвчлал, үр ашгийг хангахын тулд холбогдох техникийн стандарт, шаардлагыг чанд дагаж мөрдөх ёстой.
Дүгнэж хэлэхэд, литографийн машины салбарт оптик эд ангиудыг ашиглах нь литографийн машинуудын гүйцэтгэл, үйлдвэрлэлийн үр ашгийг дээшлүүлэх, улмаар микроэлектроникийн үйлдвэрлэлийн салбарын хөгжлийг дэмжих зорилготой юм. Литографийн технологийг тасралтгүй хөгжүүлснээр оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн оновчлол, шинэчлэл нь дараагийн үеийн чип үйлдвэрлэх боломжийг нэмэгдүүлэх болно.
Дэлгэрэнгүй мэдээлэл, мэргэжилтний зөвлөгөө авахыг хүсвэл манай вэбсайтад зочилно ууhttps://www.jiujonoptics.com/Манай бүтээгдэхүүн, шийдлүүдийн талаар илүү ихийг мэдэх.
Шуудангийн цаг: 2025-01-02
