Субстрат:B270 / Хөвөгч шил
Хэмжээний хүлцэл:-0.1мм
Зузаан хүлцэл:±0.05мм
TWD:PV<1 Lambda @632.8nm
Гадаргуугийн чанар:40/20
Ирмэгүүд:Газар, хамгийн ихдээ 0.3 мм. Бүрэн өргөн налуу
Зэрэгцээ байдал:<5"
Цэвэр диафрагм:90%
Бүрхүүл:Rabs<0.5%@Дизайн долгионы урт, AOI=10°